晶振片基本知识

2019-04-25


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1. 什么是晶振片( Crystal Sensor )

薄薄圆圆的晶振片,来源于多面体石英棒,先被切成闪闪发光的六面体棒,再经过反复的切割和研磨,石英棒最终被做成一堆薄薄的(厚0.23mm,直径13.98mm)圆片,每个圆片经切边,抛光和洗刷,最后镀上金属栅极(正面全镀,背面镀上钥匙孔形),经过检测,包装就可以出厂动用。晶粒的品质和寿命不仅影响速率和厚度测量的准确性,更重要的是还决定着受控制的过程能否成功完成。


2. 晶振片( Crystal Sensor )的工作原理

石英结晶若在晶片的两侧施加机械压力,则在晶片相应的方向上将产生电场,这种物理现象称为压电效应。如果在晶片的两极上加交变电压,晶片就会产生机械振动,同时晶片的机械振动又会产生交变电场。


3. 晶振片( Crystal Sensor )的分类

现在市场上常用的有两种频点,标称效率分别为5.000MHz、6.000MHz,根据膜厚控制仪的探头设计不同,采用不同的基极形状。


4. 晶振片( Crystal Sensor )的应用

石英晶振片是晶振膜厚控制仪系统中的速率和厚度传感元件。这些晶粒用于所有标准监督器或控制器以及单、双或多晶粒传感器的真空应用


5. 晶振片( Crystal Sensor )的基极原料

晶振片的磁极对膜厚监察至关重要,目前市场上提供三种标准栅极原料:金、银和合金。 用户所镀的原料不同,需选用不同的磁极质料产品。

金:是最广泛采取的传统质料,它具有低接触电阻,高化学稳定性,易于沉积。符合于镀低应力膜料,如镀Al Au Ag Cu。

银:适应于镀高应力膜料,如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢等。

银铝合金:合乎于镀介质光学膜,MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。


6. 晶振片( Crystal Sensor )膜厚监督原理

石英结晶法监督膜厚,主要是使用了石英晶粒的压电效应和品质负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层,使晶振片的厚度增加,则晶振片的固有效率会相应的变迁。

晶粒的基频越高,控制的灵敏度也越高,但基频过高时,晶粒片会做得很薄,很薄的结晶片易碎,一般选用AT切型效率5~10MHz。采用AT切晶粒片,其振动效率对品质的变迁极其灵敏,但却不敏感于温度的改观,具有精度高、灵敏度好等独特的优势,非常切合于真空薄膜淀积中的膜厚监督。


7. 晶振片( Crystal Sensor )再使用

(1)银或银铝合金溶于各种酸,不适宜再处理欺骗,必需彻底除去晶振片上的膜层和栅极,重新寄回我司镀上栅极

(2)金不溶于硫酸,用户可以自已进行处理,去掉晶振片上膜层,洗刷干净再使用,但重复欺骗次数不易太多,否则成色稳定性降低影响采用。


8.晶振片洗刷配方:

20%氟化氢铵水溶液,浸泡6小时以上,浸泡后投入酒精擦拭,去水即可。


爱特斯生产的相关膜料:


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3.晶振片(CrystalSensor)的分类

石英结晶法监督膜厚,主要是使用了石英晶粒的压电效应和品质负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层,使晶振片的厚度增加,则晶振片的固有效率会相应的变迁。

(2)金不溶于硫酸,用户可以自已进行处理,去掉晶振片上膜层,洗刷干净再使用,但重复欺骗次数不易太多,否则成色稳定性降低影响采用。

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